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微-納米薄膜熱導(dǎo)率測量-薄膜熱導(dǎo)率測試系統(tǒng)(TCT)

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   本儀器采用 3ω測試方法, 利用微/納米薄膜材料導(dǎo)熱引起加熱器電信號的變化來檢測其熱導(dǎo)率。
主要應(yīng)用范圍為微/納米薄膜材料的熱導(dǎo)率測量,可廣泛應(yīng)用于輔助各種功能薄膜材料的研究與開
發(fā),其涵蓋范圍包括高等院校及科研院所、集成電路散熱材料、航空航天材料、熱電材料與器件、
信息存儲與光電器件。

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